真空泵的分類(lèi)介紹

真空泵可以按不同的工作原理、真空度及結(jié)構(gòu)特點(diǎn)進(jìn)行分類(lèi)。

　　1.按工作原理分類(lèi)

　　按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類(lèi)型，包括氣體轉(zhuǎn)移式真空泵和氣體捕獲式真空泵。氣體轉(zhuǎn)移泵是一種能使氣體不斷地吸人和排出，借以達(dá)到抽氣目的的真空泵。該種泵基本上有變?nèi)菡婵毡煤蛣?dòng)量傳輸泵兩種類(lèi)型。氣體捕獲泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上，從而減小了容器內(nèi)氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵。其中活塞式真空泵、旋片式真空泵、分子真空泵、螺桿式真空泵、噴射真空泵、擴(kuò)散泵等是幾種有代表性的泵型。

　　2.按真空度分類(lèi)

　　目前真空技術(shù)設(shè)計(jì)的壓力范圍達(dá)100～10-16kPa。這么寬的壓力范圍，除了粗真空和低真空可以用一種真空泵獲得外，高真空以上的領(lǐng)域必須應(yīng)用兩種以上真空泵機(jī)組來(lái)完成。按照真空度從高/超真空到粗/低真空，真空泵大致可分14大類(lèi)：即高/超真空一低溫泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴(kuò)散泵，中真空一干泵、雙級(jí)旋片泵、羅茨泵、油增壓泵、水蒸氣噴射泵、粗/低真空一單級(jí)旋片泵、滑閥泵、液環(huán)泵、往復(fù)式真空泵。

　　3.按結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分類(lèi)

　　(1)機(jī)械式真空泵

　　在各種真空設(shè)備中，凡使用機(jī)械運(yùn)動(dòng)(轉(zhuǎn)動(dòng)或滑動(dòng))不斷改變泵內(nèi)吸氣容腔的容積而獲得真空的泵常稱(chēng)機(jī)械真空泵。機(jī)械式容積真空泵靠機(jī)械運(yùn)動(dòng)使泵腔工作容積周期變化，來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣作用的是機(jī)械式容積真空泵。屬于這類(lèi)泵的有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵(包括旋片式、螺桿式、羅茨式、液環(huán)式等)。這類(lèi)泵中除機(jī)械增壓泵外，一般均可單獨(dú)使用。

　　此外，分子泵也是一種機(jī)械真空泵。它是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。

　　(2)射流式真空泵

　　噴射真空泵是由噴嘴、吸入室、擴(kuò)壓管三部分組成。其本身沒(méi)有運(yùn)動(dòng)部件，利用流體傳遞能量和質(zhì)量。它利用具有一定壓力的工作流體通過(guò)噴嘴高速噴出，通過(guò)能量轉(zhuǎn)換，在噴嘴出口形成真空，從而將被抽介質(zhì)吸引出來(lái)，兩股介質(zhì)在擴(kuò)壓管內(nèi)進(jìn)行混合及能量交換，最后以略高于大氣壓而排出。屬于這類(lèi)泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴(kuò)散泵等。